HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀

圖片關(guān)鍵詞

HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀產(chǎn)品介紹：

HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀是一種新型薄膜測量工具。僅需簡單的幾個按鈕，幾秒鐘內(nèi)即可自動完成樣品測量和分析，并提供完整的薄膜特性分析報(bào)告，包括薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)、表面粗糙度和薄膜的不均勻性、反射率或透過率。它是用于快速薄膜測量和器件質(zhì)量控制的解決方案。專為薄膜測量設(shè)計(jì)，一鍵式操作實(shí)現(xiàn)高效率。

HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀產(chǎn)品特點(diǎn)：

可在450nm~1000nm波長內(nèi)實(shí)現(xiàn)快速測量（<1秒）
多種光斑尺寸軟件選擇
自動裝載和調(diào)整樣品高度（需自動平臺）
大面積自動成像（需自動平臺）
溫控臺、液體樣品池、電化學(xué)反應(yīng)池、
密封氣體池、透過率曲線測量等多種附件

HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀產(chǎn)品優(yōu)勢：

光斑可視系統(tǒng)：HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀具備MyAutoView光斑可視系統(tǒng)，可清晰觀察光滑或粗糙的樣品表面，保證用戶可將測量光斑準(zhǔn)確定位在樣品目標(biāo)上的測量位置。

大樣品成像選項(xiàng)：HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀配備自動平臺，方便定位測量樣品上微結(jié)構(gòu)的位置，可對不均勻大樣品片進(jìn)行mapping成像。

智能診斷：HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀儀器維護(hù)非常簡單，借助完整的操作向?qū)?，自動檢測并診斷問題，對故障進(jìn)行處理

HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀產(chǎn)品測量原理：

HORIBA Auto SE 橢偏儀是利用薄膜的光學(xué)特性進(jìn)行膜厚測量的非接觸測量方法?；谄窆夥瓷浠蛲干鋾r的狀態(tài)變化來測量薄膜的厚度和折射率。當(dāng)偏振光照射到薄膜表面時，反射光或透射光的偏振狀態(tài)會發(fā)生變化，這種變化依賴于薄膜的厚度、折射率以及入射光的偏振狀態(tài)和角度。通過分析這些變化，可以準(zhǔn)確地推導(dǎo)出薄膜的厚度。

HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀軟件：

HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀軟件DeltaPsi2功能強(qiáng)大，它基于WindowsT操作系統(tǒng)，充分利用了HORIBA Scientific（JobinYvon光譜技術(shù)）橢偏儀硬件技術(shù)的優(yōu)勢，具有眾多的建模和擬合處理功能，以及簡單的操作界面，可為研究者提供便捷的橢偏分析手段。

梯度膜層
粗糙度或界面
材料組份/結(jié)晶度
各向異性膜層
薄膜厚度的不均勻性
退偏因子
與材料模型公式相關(guān)的完整的屬性數(shù)據(jù)庫
對于厚透明樣品基底背景光的自動修正
周期變化結(jié)構(gòu)
用戶超薄薄膜應(yīng)用的BLMC算法
多重猜測、多重初值、多重模型、相關(guān)性……

HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀常見應(yīng)用：

界面特性	表面測量	光學(xué)特性	厚度測量
非晶硅、多晶硅	粗糙度	光學(xué)常數(shù)（n，k）	從幾埃到15um
納米晶體硅	自然氧化物厚度	光學(xué)帶隙Eg	單層和多層膜
透明導(dǎo)電氧化物	表面薄膜厚度	透射率
增透膜	退偏系數(shù)
半導(dǎo)體	平板顯示	功能性涂料	生物和化學(xué)工程
介電薄膜	TFT	光學(xué)涂層	有機(jī)薄膜
金屬薄膜	OLED	增透型、自清潔型	薄膜吸附
高分子、光刻膠	等離子顯示板	表面鍍膜和處理	表面功能處理
PZT膜	柔性顯示板	有機(jī)材料

HORIBA Auto SE 橢圓偏振光譜儀產(chǎn)品參數(shù)：

光斑尺寸	500μmX500μm,250μmX250μm, 100μmX100μm,250μmX500μm, 70μmX250μm,50μmX60μm, 25μmX60μm*
測試時間：	5s，Max1s	可視系統(tǒng)：	MyAutoView
Psi，Delta 測試精度：	Ψ=45°±0.05°-Δ=0°±0.2°	折射率重復(fù)性	n±0.001(1σ)
厚度重復(fù)性：	d±0.1?或0.01%(1σ)	樣品臺尺寸：	200mm-200mm